YAMAMOTO-MS山本鍍金- 晶圓智能蜂窩 500G 返回列表頁

YAMAMOTO-MS山本鍍金- 晶圓智能蜂窩 500G
YAMAMOTO-MS山本鍍金- 晶圓智能蜂窩 500G

YAMAMOTO-MS（山本鍍金）是日本老牌精密電鍍實(shí)驗(yàn)設(shè)備制造商，1950 年創(chuàng)立，主打小型精密電鍍實(shí)驗(yàn)裝置，覆蓋從燒杯級(jí)到中試級(jí)的研發(fā)與品質(zhì)驗(yàn)證需求，在半導(dǎo)體、精密電子、貴金屬電鍍領(lǐng)域認(rèn)可度高山本鍍金試験器。

一、核心產(chǎn)品線（實(shí)驗(yàn)室主流機(jī)型）

1. 智能燒杯電鍍槽 A-56 系列

• 型號(hào)：A-56-0500W/G（500mL）、A-56-1000W/G（1000mL）

• 材質(zhì)：W = 亞克力（常規(guī)酸堿）；G = 高硼硅玻璃（耐高溫、兼容離子液體）

• 核心結(jié)構(gòu)：

• PEEK 絕緣夾具：30 秒快速換樣，單面 / 雙面電鍍可選

• 可調(diào)陽極架：鈦網(wǎng) / 鉑網(wǎng) / 磷銅陽極，間距可調(diào)

• 恒液面溢流：蒸發(fā)不影響面積，數(shù)據(jù)重復(fù)性強(qiáng)

• 溫控：標(biāo)配磁力攪拌（RT~95℃）；選配 YTC 精密溫控（±0.5℃）

• 電源：適配 YPP 直流 / 脈沖電源（0.01A 起），適合微凸點(diǎn) / 超薄鍍層

2. 晶圓雙面旋轉(zhuǎn)電鍍槽 A-52-ST 系列（半導(dǎo)體專用）

• 型號(hào)：ST2/ST4/ST6/ST8/ST12（適配 2–12 英寸晶圓）

• 用途：TSV 填孔、UBM 凸點(diǎn)、RDL 布線、MEMS / 功率芯片小試

• 核心設(shè)計(jì)：

• 雙面同步電鍍：上下雙陽極，晶圓正反面同時(shí)沉積

• 雙重對(duì)流：中心槳葉攪拌 + 晶圓 0–80rpm 旋轉(zhuǎn)，強(qiáng)化微孔鍍液交換

• 穩(wěn)壓溢流：槽底進(jìn)液、外圈回流，減少空洞與膜厚不均

• 規(guī)格（部分）：

• ST4：4 英寸，4L，300W 石英加熱器

• ST8：8 英寸，12L，500W 防爆石英加熱

3. 赫爾槽 / 哈林槽測(cè)試裝置（工藝診斷）

• B-52W-YTC300 赫爾槽套裝：

• 含 B-53W 控溫赫爾槽 + B-55 平行槽，6 種陽極 + 3 種陰極

• YTC-300 溫控：0–100℃，300W，過熱 / 干燒 / 漏電保護(hù)

• B-77WJ 哈林槽（均鍍能力測(cè)試）：

• 雙陰極 + 中置可移動(dòng)陽極，量化鍍液分散能力

• 可選彎曲陰極，評(píng)估深孔 / 凹槽覆蓋能力

4. 高速旋轉(zhuǎn)測(cè)試儀 A-45W（模擬量產(chǎn)工況）

• 用途：模擬高速滾鍍、噴淋電鍍、晶圓旋轉(zhuǎn)電鍍的液流與電流密度梯度

• 核心：Φ8×100mm 圓棒陰極，0–1500rpm 無級(jí)調(diào)速，單試片替代多組靜態(tài)試驗(yàn)

• 規(guī)格：5L 亞克力槽，325×305×730mm，13.5kg

二、核心技術(shù)優(yōu)勢(shì)

1. 精密控溫與穩(wěn)定流場(chǎng)：標(biāo)配 / 選配 YTC 系列溫控（±0.5℃），溢流設(shè)計(jì)保證液面穩(wěn)定，數(shù)據(jù)可復(fù)現(xiàn)。

2. 材質(zhì)耐腐蝕性強(qiáng)：玻璃 / 亞克力 / PEEK/PFA 材質(zhì)，兼容強(qiáng)腐蝕鍍液與離子液體。

3. 模塊化設(shè)計(jì)：夾具、陽極、溫控、電源可快速替換，適配鍍金、鍍銀、鍍銅、鎳、錫等多種工藝。

4. 貼近量產(chǎn)工況：旋轉(zhuǎn) / 攪拌 / 溢流設(shè)計(jì)，解決靜態(tài)設(shè)備無法模擬高流速、高深寬比填孔的痛點(diǎn)。

三、典型應(yīng)用場(chǎng)景

• 半導(dǎo)體：晶圓 TSV/UBM/RDL 電鍍、微凸點(diǎn)工藝研發(fā)

• 精密電子：接插件鍍金 / 鍍銀、PCB 通孔鍍銅、端子鍍錫

• 材料研發(fā)：鍍液配方篩選、添加劑評(píng)估、雜質(zhì)影響分析

• 品質(zhì)管控：鍍層均勻性、覆蓋能力、耐腐蝕性驗(yàn)證

四、選型建議

• 通用研發(fā) / 小試：選A-56系列（500mL/1000mL），性價(jià)比高

• 半導(dǎo)體晶圓：選A-52-ST系列（按晶圓尺寸）

• 鍍液性能診斷：選B-52W（赫爾槽）或B-77WJ（哈林槽）

• 高速工況模擬：選A-45W旋轉(zhuǎn)測(cè)試儀