激光干涉儀用于平面度測量

1、平面度

    平面測量是在角度測量的基礎上做的延伸，利用角度測量的附件記錄下一系列平面位置角度，轉化為高度的變化，按照對角線的方法測量出平臺上不同位置的高度變化值，就可以得到整個平臺的平面度。

2、平面度測量用組件

      平面度測量用到的激光干涉儀組件：
       激光干涉儀測頭、角度測量光學鏡組、平面度測量組件、Leice Measure測量軟件、Leice Analysis 分析軟件。

3、平面度測量應用

      測量坐標測量機臺面以及各種平板的表面形狀。

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