
作為Dektak系列的旗艦升級款,Dektak Pro凝聚布魯克55年技術創(chuàng)新,將接觸式測量的性能推至全新高度。核心精度:垂直分辨率1?,臺階高度重復性穩(wěn)定優(yōu)于4?,數(shù)據(jù)精準度與重復性*實驗室頂級標準。
搭載直驅掃描臺與Vision64智能軟件,自動臺階檢測減少人為誤差,2D/3D形貌、應力、晶圓翹曲一鍵分析。硬件兼容:支持200mm(8英寸)樣品,掃描長度達55mm,憑借可達200mm;可選N-Lite+精微力傳感器,0.03mg超低探針力適配薄膜、軟材料,杜絕表面損傷。
從半導體晶圓、光學鍍膜、顯示面板,到MEMS器件、生物材料與質檢,Dektak Pro以高精度、高效率、高兼容,成為前沿研發(fā)與工業(yè)量產的標配之選。
Dektak Pro 特點綜述:
1. 布魯克Dektak Pro,55年積淀,納米級輪廓測量金標準
2. 精度致勝,效率為先,Dektak Pro探針式臺階儀,定義精密測量新高度
3. 從研發(fā)到量產,一儀掌控Dektak Pro,半導體/材料科學的微米級慧眼
第十一代旗艦,4?重復性,200mm大樣品兼容,一鍵式智能分析
核心點:
• ? 55年技術積淀,行業(yè)金標準
• ? 4?重復性,1?垂直分辨率
• ? 200mm大樣品臺,適配8英寸晶圓
• ? 0.03mg超低探針力,無損測量
• ? 直驅掃描+智能軟件,高效省心
• ? 半導體/光學/MEMS/材料科學全適配
Dektak Pro精測入微,智控全局。
布魯克Dektak Pro——每一次測量,都為精準而生。
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