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壓電/鐵電薄膜沉積磁控濺射 磁控濺射 金屬沉積系統(tǒng)中標(biāo)結(jié)果公告
2026年07月13日 11:36:34
來源：機電產(chǎn)品招標(biāo)投標(biāo)電子交易平臺 點擊量：2252
項目名稱：壓電/鐵電薄膜沉積磁控濺射 磁控濺射 金屬沉積系統(tǒng)，項目編號：0618-264TC26070A5，招標(biāo)范圍：1.1設(shè)備采購名稱：壓電/鐵電薄膜沉積磁控濺射，1套，只接受全新設(shè)備。 1.2設(shè)備用途：主要用于光電、傳感和鐵電存儲領(lǐng)域，實現(xiàn)高質(zhì)量壓電鐵電摻雜氮化鋁薄膜和配套電極材料的制備。 1.3設(shè)備作業(yè)基本流程：①裝片->②預(yù)處理->③生長->④取片->⑤測試。招標(biāo)機
項目名稱：壓電/鐵電薄膜沉積磁控濺射+磁控濺射+金屬沉積系統(tǒng)
項目編號：0618-264TC26070A5
招標(biāo)范圍：1.1設(shè)備采購名稱：壓電/鐵電薄膜沉積磁控濺射，1套，只接受全新設(shè)備。 1.2設(shè)備用途：主要用于光電、傳感和鐵電存儲領(lǐng)域，實現(xiàn)高質(zhì)量壓電鐵電摻雜氮化鋁薄膜和配套電極材料的制備。 1.3設(shè)備作業(yè)基本流程：①裝片->②預(yù)處理->③生長->④取片->⑤測試。
招標(biāo)機構(gòu)：中招國際招標(biāo)有限公司
招標(biāo)人：上海芯源創(chuàng)新中心
開標(biāo)時間：2026-06-30 09:30
公示時間：2026-07-02 20:01 - 2026-07-07 23:59
中標(biāo)結(jié)果公告時間：2026-07-08 10:11
中標(biāo)人：香港愛科美半導(dǎo)體有限公司
制造商：Ulvac,Inc.
制造商國家或地區(qū)：日本
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